急速に高集積化する半導体。松下精機では技術力を集結し、これからの半導体・FPD製造に欠かせないペリクルの自動装着装置を始め、各種マスク関連装置を開発し、好評を頂いております。
ペリクルリムーバー M777
オートペリクルマウンター M515Ⅱ
FPDペリクルマウンター M515L-Ⅲ
簡易型ペリクルマウンター M515K
マスク移載機 M695
マスクハンドラー M726
大型マスクハンドリング台車 MGV M702
